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ウェーハの特徴抽出と欠陥パターン認識のための驚くほど単純なアプローチ
An Embarrassingly Simple Approach for Wafer Feature Extraction and Defect Pattern Recognition
製造中にウェーハマップで欠陥パターンを特定することは、根本的な問題の根本原因を見つけるために重要であり、ファウンドリーの歩留まりを改善するための貴重な洞察を提供します。現在使用されている方法では、ディープ ニューラル ネットワークを使用して欠陥を特定します。これらのメソッドは一般に非常に巨大で、かなりの推論時間がかかります。また、効率的に動作するには GPU サポートも必要です。これらすべての問題により、これらのモデルは製造工場でのオンライン予測に適合しません。この論文では、ウェーハ画像から特徴を抽出するための非常にシンプルで効果的な手法を提案します。提案された方法は、説明可能でありながら、非常に高速で、直感的で、ノンパラメトリックです。実験結果は、提案されたパイプラインが従来の深層学習モデルよりも優れていることを示しています。私たちの特徴抽出は、解釈可能性分析によって明らかにされたデータポイントの相対的な形状と位置を維持しながら、トレーニングや微調整を必要としません。
Identifying defect patterns in a wafer map during manufacturing is crucial to find the root cause of the underlying issue and provides valuable insights on improving yield in the foundry. Currently used methods use deep neural networks to identify the defects. These methods are generally very huge and have significant inference time. They also require GPU support to efficiently operate. All these issues make these models not fit for on-line prediction in the manufacturing foundry. In this paper, we propose an extremely simple yet effective technique to extract features from wafer images. The proposed method is extremely fast, intuitive, and non-parametric while being explainable. The experiment results show that the proposed pipeline outperforms conventional deep learning models. Our feature extraction requires no training or fine-tuning while preserving the relative shape and location of data points as revealed by our interpretability analysis.
updated: Tue Mar 21 2023 07:00:13 GMT+0000 (UTC)
published: Tue Mar 21 2023 07:00:13 GMT+0000 (UTC)
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