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深層学習に基づくSTEM画像分析:MoS_2の空孔欠陥と多形の識別
STEM image analysis based on deep learning: identification of vacancy defects and polymorphs of MoS_2
走査型透過電子顕微鏡法(STEM)は、さまざまな材料の原子分解能構造解析に不可欠なツールです。 STEM画像の従来の分析は、広範囲にわたる実践的なプロセスであり、高スループットデータの効率的な処理を制限します。ここでは、完全畳み込みネットワーク(FCN)を適用して、2次元結晶の重要な構造的特徴を識別します。 FCNの一種であるResUNetは、原子分解能のSTEM画像から硫黄空孔とMoS_2の多形型を特定するために使用されます。効率的なモデルは、さまざまなレベルのノイズ、収差、および炭素汚染の存在下でのシミュレーション画像によるトレーニングに基づいて実現されます。広範な実験的STEM画像に対するFCNモデルの精度は、注意深い実地分析の精度に匹敵します。私たちの仕事は、STEM画像分析の深層学習モデルをトレーニングするためのベストプラクティスに関するガイドラインを提供し、大量のSTEMデータを効率的に処理するためのFCNのアプリケーションを示しています。
Scanning transmission electron microscopy (STEM) is an indispensable tool for atomic-resolution structural analysis for a wide range of materials. The conventional analysis of STEM images is an extensive hands-on process, which limits efficient handling of high-throughput data. Here we apply a fully convolutional network (FCN) for identification of important structural features of two-dimensional crystals. ResUNet, a type of FCN, is utilized in identifying sulfur vacancies and polymorph types of MoS_2 from atomic resolution STEM images. Efficient models are achieved based on training with simulated images in the presence of different levels of noise, aberrations, and carbon contamination. The accuracy of the FCN models toward extensive experimental STEM images is comparable to that of careful hands-on analysis. Our work provides a guideline on best practices to train a deep learning model for STEM image analysis and demonstrates FCN's application for efficient processing of a large volume of STEM data.
updated: Thu Jun 09 2022 04:43:56 GMT+0000 (UTC)
published: Thu Jun 09 2022 04:43:56 GMT+0000 (UTC)
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