フル フィールド ミクロン スケール 3 D センシングのための新しいイメージング技術、掃引角合成波長干渉法を提示します。従来の合成波長干渉法と同様に、私たちの技術は、2 つの狭く分離された光波長からなる光を使用し、その結果、位相がシーン深度をエンコードするピクセルごとの干渉測定を行います。私たちの技術はさらに、空間的にインコヒーレントな照明をエミュレートすることにより、干渉測定を収差や(サブ)表面散乱、位相測定を損なう影響の影響を受けないようにする新しいタイプの光源を使用します。結果として得られる技術は、走査干渉計セットアップのこのような破損に対する堅牢性と、フルフィールド干渉計セットアップの速度を兼ね備えています。全体として、私たちの技術は、強い周囲光の下でも、5 Hzのフレームレートで、5ミクロンの横方向および軸方向の解像度でフルフレームの深度を回復できます。実験的なプロトタイプを作成し、それを使用して、検査および製造におけるアプリケーションを代表するオブジェクトや、困難な光散乱効果を含むオブジェクトなど、さまざまなオブジェクトをスキャンすることにより、これらの機能を実証します。
We present a new imaging technique, swept-angle synthetic wavelength interferometry, for full-field micron-scale 3D sensing. As in conventional synthetic wavelength interferometry, our technique uses light consisting of two narrowly-separated optical wavelengths, resulting in per-pixel interferometric measurements whose phase encodes scene depth. Our technique additionally uses a new type of light source that, by emulating spatially-incoherent illumination, makes interferometric measurements insensitive to aberrations and (sub)surface scattering, effects that corrupt phase measurements. The resulting technique combines the robustness to such corruptions of scanning interferometric setups, with the speed of full-field interferometric setups. Overall, our technique can recover full-frame depth at a lateral and axial resolution of 5 microns, at frame rates of 5 Hz, even under strong ambient light. We build an experimental prototype and use it to demonstrate these capabilities by scanning a variety of objects, including objects representative of applications in inspection and fabrication, and objects that contain challenging light scattering effects.