発光ダイオード(LED)の製造には、効率的な品質管理が不可欠です。欠陥のあるLEDチップはさまざまな原因に起因する可能性があるため、時間とコストのかかる電気的および光学的接触測定が採用されています。一方、高速フォトルミネッセンス測定は、一般的にウェーハ分離損傷の検出に使用されますが、あらゆる種類の欠陥LEDチップの効率的な検出を可能にする可能性も保持しています。フォトルミネッセンス画像では、すべてのピクセルが光励起後のLEDチップの輝度に対応し、パフォーマンス情報を明らかにします。しかし、輝度値が不均一に分布し、欠陥パターンが変化するため、フォトルミネッセンス画像は、包括的な欠陥検出にはまだ採用されていません。この作業では、フォトルミネッセンス画像の小さなデータセットでトレーニングされた、完全な畳み込みネットワークをチップ単位の欠陥検出に使用できることを示します。ピクセル単位のラベルにより、すべてのチップを欠陥があるかどうかを分類できます。測定ベースであるため、ラベルは簡単に入手でき、実験では、トレーニング画像とラベル間の既存の不一致がネットワークトレーニングを妨げないことが示されています。加重損失計算を使用して、非常に不均衡なクラスカテゴリを均等化することができました。スキップ接続と残りのショートカットの一貫した使用により、当社のネットワークは、広範な欠陥クラスターから単一の欠陥LEDチップまで、さまざまな構造を予測することができます。
Efficient quality control is inevitable in the manufacturing of light-emitting diodes (LEDs). Because defective LED chips may be traced back to different causes, a time and cost-intensive electrical and optical contact measurement is employed. Fast photoluminescence measurements, on the other hand, are commonly used to detect wafer separation damages but also hold the potential to enable an efficient detection of all kinds of defective LED chips. On a photoluminescence image, every pixel corresponds to an LED chip's brightness after photoexcitation, revealing performance information. But due to unevenly distributed brightness values and varying defect patterns, photoluminescence images are not yet employed for a comprehensive defect detection. In this work, we show that fully convolutional networks can be used for chip-wise defect detection, trained on a small data-set of photoluminescence images. Pixel-wise labels allow us to classify each and every chip as defective or not. Being measurement-based, labels are easy to procure and our experiments show that existing discrepancies between training images and labels do not hinder network training. Using weighted loss calculation, we were able to equalize our highly unbalanced class categories. Due to the consistent use of skip connections and residual shortcuts, our network is able to predict a variety of structures, from extensive defect clusters up to single defective LED chips.